伺服链条抛光机 平面抛光机

伺服链条抛光机 平面抛光机

抛光机伺服加载系统控制

在链条双面抛光机中,气动加载系统要求对加载在工件上的抛光压力进行控制,从而保证抛光质量。为了达到这一要求,提出了气动伺服加载系统并引入特殊设计的气动数字伺服阀。同时对气动伺服加载系统进行数学建和模块化分析,后进行了实验研究。表明气动伺服加载系统能满足双面抛光的要求,可以加工出双面超平滑的硅片。

双面抛光机伺服加载系统

在双面抛光机中,气动加载系统要求对加载在工件上的抛光压力进行控制,从而保证抛光质量。为了达到这一要求,提出了气动伺服加载系统并引入特殊设计的气动数字伺服阀。同时对气动伺服加载系统进行数学建和模块化分析,后进行了实验研究。表明气动伺服加载系统能满足双面抛光的要求,可以加工出双面超平滑的硅片。

伺服链条抛光机 平面抛光机